Термографический микроскоп
T-imager

Термографический микроскоп T-imager применяется для бесконтактного неразрушающего температурного контроля и измерения температуры поверхности активных микроэлектронных устройств.

T°lmager™ является ведущей системой тепловой микроскопии, которая использует видимый свет для отображения температурного поля, что позволяет получать в десять раз лучшее разрешение, чем теоретически возможное при применении ИК тепловизоров.

0.3 мкм пространственное разрешение - это лучшее что есть на рынке визуализации и измерения тепловых полей. Запатентованная система ТМХ CCD термографии основана на теплофизике отражения, где изменение температуры поверхности измеряется путем определения изменения в отражательной способности образца.

Аппаратная часть
Tlmager™ это модульный продукт. Стандартная система содержит микроскопическую головку, световод и контроллер. Опционально поставляются: активный In-situ калибровочный эталон, мультичастотный осветитель и прочее. Система производит активирующую модуляцию исследуемого образца и синхронизирует температурные поля во включенном и выключенном состоянии. Отличия тепловых карт включенного и выключенного образца фиксируется CCD сенсором для последующего рассчета изменения температуры.

Программная часть
Основанная на LabVIEW™ программа управления интуитивно понятна и дружелюбна к пользователю. Позволяет просматривать образец в видимом спектре, позиционировать его, контролировать процесс сбора данных и выводить результаты измерений и картинку теплового поля. Графический интерфейс гибкий и легко настраивается под пользовательские задачи. Температурные карты сохраняются в компьютере в цифровом виде с помощью встроенного приложения. Программа выравнивает пикселы с точностью до О,1 пиксела, что позволяет получать точнейшие калибровки и достоверные температурные карты.
Термокарта полисиликонового резистора  

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Локализация горячих пятен в MOSFET

© 2018 Gurvin. All Rights Reserved.

Основное меню